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エピタキシャル成長法
よみ：えぴたきしゃるせいちょうほう
50音別：え
種類別：機械
シリコン結晶版に上に、同じ結晶面のシリコンを成長させる基盤と同じ方位をもつ結晶を成長させる方法。

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